ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ - ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ
St.Cera's SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ಅನ್ನು S1111 ಬ್ಯಾಚ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನಿಂದ (SiC ಅಂಶ 99.72%, ಉಚಿತ Si 0.05%) ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಅಸಾಧಾರಣ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ: ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ 449 MPa (ಅಳತೆ), ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ 457 GPa (ಅಳತೆ), ಮತ್ತು ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ 25–28 GPa (ವಿಶಿಷ್ಟ). ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆ (3.10–3.15 g/cm³, ವಿಶಿಷ್ಟ) ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಬಿಗಿತವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ರೋಬೋಟ್ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. 120–150 W/m·K (ವಿಶಿಷ್ಟ) ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ವಿಶಿಷ್ಟ) ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದೊಂದಿಗೆ, ಈ ಅಂತಿಮ ಪರಿಣಾಮಕವು ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೊರಹಾಕುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ (1600–1700°C ವರೆಗೆ, ಯಾವುದೇ ಹೊರೆ ಇಲ್ಲ). ಕಪ್ಪು/ಬೂದು ಬಣ್ಣ ಮತ್ತು ಶೂನ್ಯ ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯು ಕ್ಲೀನ್ರೂಮ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ವಿಶೇಷಣಗಳು(ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾದ SiC S1111 ಪರೀಕ್ಷಾ ವರದಿ ಮತ್ತು ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿದೆ)):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ವಸ್ತು | SiC (99.72% SiC, 0.05% ಉಚಿತ Si) |
| ಬಣ್ಣ | ಕಪ್ಪು/ಬೂದು |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.10–3.15 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ | 0% |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 449 MPa (ಸರಾಸರಿ) |
| ಮುರಿತದ ಗಡಸುತನ | 3.12 MPa·m¹/² (ಸರಾಸರಿ) |
| ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 457 ಜಿಪಿಎ |
| ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | 25–28 ಜಿಪಿಎ |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (25°C) | 120–150 W/m·K |
| ಸಿಟಿಇ (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಬಳಕೆಯ ತಾಪಮಾನ (ಲೋಡ್ ಇಲ್ಲ) | 1600–1700°C |
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
● ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ (ಪೋಸ್ಟ್-ಅನಿಯಲ್, RTP, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ)
● ಹೆಚ್ಚಿನ ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಕೋಣೆಗಳು
● ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಫರ್ ರೋಬೋಟ್ಗಳು (ಹಗುರವಾದ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಠೀವಿ)
ತಯಾರಿಕೆ:
SiC ಪೌಡರ್ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ → ಆರ್ಮ್ ಪ್ರೊಫೈಲ್ನ ನಿಖರತೆ CNC ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಆರೋಹಿಸುವ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು → ಮೇಲ್ಮೈ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ → ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ. ನಿರ್ವಾತ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ 100% ಆಯಾಮದ ತಪಾಸಣೆ ಮತ್ತು ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆ.
ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣ:
● ಉದ್ದ, ಅಗಲ ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನದ CMM ಪರಿಶೀಲನೆ
● ಪ್ರತಿ ಬ್ಯಾಚ್ಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಶಕ್ತಿ ಪರೀಕ್ಷೆ (ಪ್ರತಿ ಪರೀಕ್ಷಾ ವರದಿ ಮಾನದಂಡಕ್ಕೆ)
● ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳಿಗಾಗಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ದೃಶ್ಯ ತಪಾಸಣೆ
ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಅಥವಾ ಲೋಹಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅನುಕೂಲಗಳು:
● 2× ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ (ಅಲ್ಯೂಮಿನಾಗೆ 457 vs ~380 GPa) – ಕಡಿಮೆ ವಿಚಲನ
● 3× ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ - ವೇಗವಾದ ಶಾಖ ಪ್ರಸರಣ
● ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ 1600°C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ vs ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ 800°C
● ಉಕ್ಕಿಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆ – 40% ತೂಕ ಕಡಿತ
ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ:
OEM ಡ್ರಾಯಿಂಗ್ಗೆ 150–450 ಮಿಮೀ ಉದ್ದ, ತುದಿ ಆಕಾರಗಳು (ಅಂಚಿನ ಹಿಡಿತ, ಬರ್ನೌಲ್ಲಿ, ಫ್ಲಾಟ್), ಆರೋಹಿಸುವಾಗ ಫ್ಲೇಂಜ್ ಮಾದರಿಗಳು.
*ಮೇಲಿನ ಎಲ್ಲಾ ಯಾಂತ್ರಿಕ ದತ್ತಾಂಶವು ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾದ ಪರೀಕ್ಷಾ ವರದಿಯಿಂದ (ಬ್ಯಾಚ್ S1111) ಬಂದಿದೆ. ಈ SiC ದರ್ಜೆಗೆ ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ಗಡಸುತನದ ಮೌಲ್ಯಗಳು ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿರುತ್ತವೆ; ಲಾಟ್-ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ದಯವಿಟ್ಟು ನಮ್ಮನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ.*
