ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರಕ್ಕಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಆಧಾರಿತ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್
ಸೇಂಟ್.ಸೆರಾದ SiC-ಆಧಾರಿತ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚಕ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ (ಬ್ಯಾಚ್ S1111, SiC 99.72%, ಉಚಿತ Si 0.05%). ಇದು 449 MPa ನ ಅಳತೆಯ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ, 3.12 MPa·m¹/² ನ ಮುರಿತದ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು 457 GPa ನ ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ ಅನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುವಿನ ವಿಶಿಷ್ಟ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (120–150 W/m·K) ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ಉಷ್ಣ ಸೈಕ್ಲಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತ್ವರಿತ ತಾಪಮಾನದ ರಾಂಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕನಿಷ್ಠ ವೇಫರ್ ವಾರ್ಪೇಜ್ ಅನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಚಕ್ ಅನ್ನು ಸರಂಧ್ರ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ (ಏಕರೂಪದ ಅನಿಲ ಹರಿವು) ಅಥವಾ ಗ್ರೂವ್ಡ್ ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್ ಚಕ್ ಆಗಿ ಕಾನ್ಫಿಗರ್ ಮಾಡಬಹುದು. 1600–1700°C ಗರಿಷ್ಠ ಬಳಕೆಯ ತಾಪಮಾನ (ಲೋಡ್ ಇಲ್ಲ) ಮತ್ತು ಅಸಾಧಾರಣ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆಯೊಂದಿಗೆ, ಈ ಚಕ್ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ (ಅನೆಲಿಂಗ್, RTP) ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಚಕ್ಗಳು ಕೊಳೆಯುವ ಆಕ್ರಮಣಕಾರಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಕೋಣೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ವಿಶೇಷಣಗಳು(ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾದ SiC S1111 ಪರೀಕ್ಷಾ ವರದಿ ಮತ್ತು ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿದೆ)):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ವಸ್ತು | SiC (99.72% SiC, 0.05% ಉಚಿತ Si) |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.10–3.15 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ | 0% |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 449 ಎಂಪಿಎ |
| ಮುರಿತದ ಗಡಸುತನ | 3.12 MPa·m¹/² |
| ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 457 ಜಿಪಿಎ |
| ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | 25–28 ಜಿಪಿಎ |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | 120–150 W/m·K |
| ಸಿಟಿಇ (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಬಳಕೆಯ ತಾಪಮಾನ (ಲೋಡ್ ಇಲ್ಲ) | 1600–1700°C |
| ಚಪ್ಪಟೆತನ (300mm ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು) | ≤5 μm |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ರಾ ≤0.4 μm (ಲ್ಯಾಪ್ಡ್) |
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
● ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಚಕಿಂಗ್ (ಅನಿಯಲಿಂಗ್, RTP, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ)
● ಹೆಚ್ಚಿನ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಪ್ರತಿರೋಧದೊಂದಿಗೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಚಕ್
● ಏಕರೂಪದ ತಾಪನ/ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ
● ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ವೇಫರ್ ಬೆಂಬಲಕ್ಕಾಗಿ ಸರಂಧ್ರ ಚಕ್
ತಯಾರಿಕೆ:
SiC ಸಿಂಟರಿಂಗ್ → ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರೊಫೈಲ್ನ ನಿಖರವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ → ಐಚ್ಛಿಕ ಸರಂಧ್ರ ರಚನೆ ರಚನೆ (ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ಗಾಗಿ) → ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ → ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ. ಪ್ರತಿ ಚಕ್ ಅನ್ನು ಚಪ್ಪಟೆತನ (ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್) ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಏಕರೂಪತೆ (ಹರಿವಿನ ಪರೀಕ್ಷೆ) ಗಾಗಿ 100% ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣ:
● CMM ಆಯಾಮ ಪರಿಶೀಲನೆ (ವ್ಯಾಸ, ದಪ್ಪ, ರಂಧ್ರ ಸ್ಥಾನಗಳು)
● ASTM ಪ್ರಕಾರ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮಾಪನ
● ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆ (ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ಗಳಿಗೆ)
● ಪ್ರತಿ ಬ್ಯಾಚ್ಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಶಕ್ತಿ ಪರಿಶೀಲನೆ (ಉಲ್ಲೇಖ. ಪರೀಕ್ಷಾ ವರದಿ)
ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಚಕ್ಸ್ಗಿಂತ ಅನುಕೂಲಗಳು:
● ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (ಅಲ್ಯೂಮಿನಾಗೆ 120–150 vs 32 W/m·K) – 4× ವೇಗದ ಶಾಖ ವರ್ಗಾವಣೆ
● ಕಡಿಮೆ CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – ವೇಫರ್ ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ
● ಉನ್ನತ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪ್ರತಿರೋಧ - ಫ್ಲೋರಿನ್ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ 10× ದೀರ್ಘ ಜೀವಿತಾವಧಿ
● ಹೆಚ್ಚಿನ ಗರಿಷ್ಠ ಬಳಕೆಯ ತಾಪಮಾನ (ಅಲ್ಯೂಮಿನಾಗೆ 1600°C vs 800°C)
ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ:
● ರಂಧ್ರವಿರುವ ಅಥವಾ ತೋಡುಳ್ಳ ಮೇಲ್ಮೈ
● ವ್ಯಾಸ 100–450 ಮಿಮೀ, ವೃತ್ತ ಅಥವಾ ಚೌಕ
● ಅಂಚಿನ ಸೀಲಿಂಗ್ ರಿಂಗ್ ಅಥವಾ ವಲಯ ನಿರ್ವಾತ ವಿಭಾಗಗಳು
● ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತದ ಆರೋಹಣಕ್ಕಾಗಿ ಲೋಹದ ಆಧಾರ ಆಯ್ಕೆ
ಮೇಲಿನ ಎಲ್ಲಾ ಯಾಂತ್ರಿಕ ದತ್ತಾಂಶವು ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾದ ಪರೀಕ್ಷಾ ವರದಿಯಿಂದ (ಬ್ಯಾಚ್ S1111) ಬಂದಿದೆ. ಈ SiC ದರ್ಜೆಗೆ ಉಷ್ಣ ಮತ್ತು ಗಡಸುತನದ ಮೌಲ್ಯಗಳು ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಸರಂಧ್ರ SiC ಚಕ್ಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ; ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸರಂಧ್ರತೆ ಮತ್ತು ರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರದ ಲಭ್ಯತೆಗಾಗಿ ದಯವಿಟ್ಟು ವಿಚಾರಿಸಿ.
