ಟೆಫ್ಲಾನ್ ಕೋಟೆಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ - ಸೂಕ್ಷ್ಮ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ ನಾನ್-ಸ್ಟಿಕ್ ಸರ್ಫೇಸ್
ಸೇಂಟ್ ಸೆರಾಸ್ ಟೆಫ್ಲಾನ್ (PTFE) ಲೇಪಿತ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಏಕರೂಪದ, ಕಡಿಮೆ-ಘರ್ಷಣೆಯ PTFE ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ (ದಪ್ಪ 15–30 μm) ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ. ಲೇಪನವು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕ (≤0.1), ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ. ಆಧಾರವಾಗಿರುವ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರ (99.8% Al₂O₃) ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ (361–1000 MPa), ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು 260°C ವರೆಗೆ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ (ಲೇಪನ ಮಿತಿ). ಈ ಅಂತಿಮ ಪರಿಣಾಮಕವು ಸೂಕ್ಷ್ಮ, ತೆಳುವಾದ ಅಥವಾ ಜಿಗುಟಾದ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ (ಉದಾ, ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಲೇಪನ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ನಂತರ).
ವಿಶೇಷಣಗಳು (PTFE ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ 99.8% Al₂O₃ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಆಧರಿಸಿ):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ತಲಾಧಾರ ವಸ್ತು | 99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ದಂತ) |
| ಲೇಪನ ವಸ್ತು | PTFE (ಟೆಫ್ಲಾನ್) |
| ಲೇಪನದ ದಪ್ಪ | ೧೫–೩೦ μm |
| ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕ (ಲೇಪಿತ) | ≤0.1 |
| ತಲಾಧಾರದ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ (Al₂O₃) | 361 ಎಂಪಿಎ |
| ತಲಾಧಾರದ ಗಡಸುತನ (Al₂O₃) | 16 ಜಿಪಿಎ |
| ತಲಾಧಾರ ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.93 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ (ಲೇಪನ ಮಿತಿ) | 260°C ತಾಪಮಾನ |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ (ಲೇಪನ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು) | ರಾ ≤0.4 μm |
| ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಶಕ್ತಿ (ತಲಾಧಾರ) | 15×10⁶ ವಿ/ಮೀ |
ಗಮನಿಸಿ: PTFE ಲೇಪನವು ಗರಿಷ್ಠ ತಾಪಮಾನವನ್ನು 260°C ಗೆ ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ; ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ, ಲೇಪನವಿಲ್ಲದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಅಥವಾ ಇತರ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಿ.
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
- · ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಲೇಪನದ ನಂತರ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು (ಜಿಗುಟಾದ ಮೇಲ್ಮೈಗಳು)
- · ತೆಳುವಾದ ಅಥವಾ ದುರ್ಬಲವಾದ ವೇಫರ್ಗಳ ವರ್ಗಾವಣೆ (ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ)
- · ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಪಾಸಣೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ಪರಿಕರಗಳು
- · ಕಣ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬೇಕಾದ ಕ್ಲೀನ್ರೂಮ್ ಯಾಂತ್ರೀಕರಣ
ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ:
ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ನೆಲ → ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುಗೊಳಿಸುವಿಕೆ (ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಅಥವಾ ಗ್ರಿಟ್ ಬ್ಲಾಸ್ಟ್) → PTFE ಸ್ಪ್ರೇ ಲೇಪನ → 380°C ನಲ್ಲಿ ಶಾಖ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ → ಅಂತಿಮ ತಪಾಸಣೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಲೇಪನದ ದಪ್ಪ (ಎಡ್ಡಿ ಕರೆಂಟ್), ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ (ಕ್ರಾಸ್-ಕಟ್ ಪರೀಕ್ಷೆ ASTM D3359) ಮತ್ತು ಘರ್ಷಣೆಯ ಗುಣಾಂಕಕ್ಕಾಗಿ ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣ:
ಪಿನ್ಹೋಲ್ಗಳು ಅಥವಾ ಗುಳ್ಳೆಗಳಿಗೆ 100% ದೃಶ್ಯ ತಪಾಸಣೆ; ±5 μm ಒಳಗೆ ಲೇಪನ ದಪ್ಪ ಏಕರೂಪತೆ; ಸಾಕ್ಷಿ ಕೂಪನ್ನಲ್ಲಿ 90° ಬಾಗುವಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆಯ ನಂತರ ಡಿಲಾಮಿನೇಷನ್ ಇಲ್ಲ. OEM ಸಹಿಷ್ಣುತೆಗೆ ಆಯಾಮದ ಪರಿಶೀಲನೆ (ಉದ್ದ ±0.05 ಮಿಮೀ, ಚಪ್ಪಟೆತನ ≤0.1 ಮಿಮೀ).
ಲೇಪನವಿಲ್ಲದ ಅಥವಾ ಇತರ ಲೇಪನಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅನುಕೂಲಗಳು:
- · ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳದ ಮೇಲ್ಮೈ ವೇಫರ್ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಒಡೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ
- · ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೇಪನಗಳಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ
- · ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ (ಆಮ್ಲಗಳು, ಕ್ಷಾರಗಳು, ದ್ರಾವಕಗಳು)
- · ವಸ್ತು ವರ್ಗಾವಣೆಯನ್ನು ತಡೆಯುವ ಮೂಲಕ ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ
ಮಿತಿಗಳು (ವಸ್ತು ವಿಚಲನದ ಕುರಿತು ಟಿಪ್ಪಣಿಗಳು):
PTFE ಲೇಪನವನ್ನು ಒದಗಿಸಲಾದ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣ ಕೋಷ್ಟಕಗಳಿಂದ (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) ಪಡೆಯಲಾಗಿಲ್ಲ. ತಲಾಧಾರದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಿದ ಡೇಟಾಶೀಟ್ ಅನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಅನುಸರಿಸುತ್ತವೆ (99.8% Al₂O₃). ಯಾವುದೇ ಲೇಪನ ಡೇಟಾವನ್ನು ಒದಗಿಸದ ಕಾರಣ ಲೇಪನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮಾಣಿತ PTFE ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿವೆ. 260°C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ, ಲೇಪನವಿಲ್ಲದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.*
ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ:
150–1500 ಮಿಮೀ ಉದ್ದ, ತುದಿ ಆಕಾರಗಳು (ಅಂಚಿನ ಹಿಡಿತ, ಬರ್ನೌಲ್ಲಿ, ಫ್ಲಾಟ್), OEM ಡ್ರಾಯಿಂಗ್ಗೆ ಮೌಂಟಿಂಗ್ ಫ್ಲೇಂಜ್ ಮಾದರಿಗಳಲ್ಲಿ ಲಭ್ಯವಿದೆ. ಭಾಗಶಃ ಲೇಪನ (ಸಂಪರ್ಕ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ ಮಾತ್ರ) ಅಥವಾ ಪೂರ್ಣ ಕವರೇಜ್ ಐಚ್ಛಿಕ.
ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಘರ್ಷಣೆ ಪರೀಕ್ಷೆಗಾಗಿ ಮಾದರಿಯನ್ನು ವಿನಂತಿಸಿ.
