ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಚೇಂಬರ್ ಸೀಲಿಂಗ್ಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸೀಲ್ ರಿಂಗ್
ಎಲಾಸ್ಟೊಮರ್ಗಳು ಕ್ಷೀಣಿಸುವ ತೀವ್ರ ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಮರ್ O-ರಿಂಗ್ಗಳಿಗೆ ಪರ್ಯಾಯವಾಗಿ St.Cera's ಸೆರಾಮಿಕ್ ಸೀಲ್ ರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. 99.8% ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (Al₂O₃) ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಈ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಿನ ಸೀಲ್ ರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸ್ಥಿರ ಸೀಲಿಂಗ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ - ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮೃದುವಾದ ಲೋಹ ಅಥವಾ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್ನೊಂದಿಗೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ - 800°C ವರೆಗಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಆಕ್ರಮಣಕಾರಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ನಿರ್ವಾತ ಅಥವಾ ಅನಿಲ ಧಾರಕವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು. ವಸ್ತುವು ಶೂನ್ಯ ಅನಿಲ ಸೋರಿಕೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ (ಆಧಾರಿತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ 361 MPa), ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ (HF ಹೊರತುಪಡಿಸಿ ಹ್ಯಾಲೊಜೆನ್ಗಳು, ಆಮ್ಲಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರಗಳಿಗೆ ನಿರೋಧಕ) ನೀಡುತ್ತದೆ. ನಿಖರತೆ-ಲ್ಯಾಪ್ಡ್ ಸೀಲಿಂಗ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳು (ಚಪ್ಪಟೆತನ ≤5 μm, ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ Ra ≤0.2 μm) ಸಂಯೋಗದ ಲೋಹ ಅಥವಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಘಟಕಗಳೊಂದಿಗೆ ಸೋರಿಕೆ-ಬಿಗಿಯಾದ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ವಿಶೇಷಣಗಳು(99.8% Al ಆಧರಿಸಿ�O₃):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ವಸ್ತು | 99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ದಂತ) |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.93 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ನೀರಿನ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ | 0% |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 361 ಎಂಪಿಎ |
| ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ (ಅಂದಾಜು) | >2000 ಎಂಪಿಎ |
| ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | 16 ಜಿಪಿಎ |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 800°C (ಗಾಳಿ), 1600°C (ಜಡ) |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ (ಸೀಲಿಂಗ್ ಮುಖ) | ರಾ ≤0.2 μm (ಲ್ಯಾಪ್ಡ್) |
| ಚಪ್ಪಟೆತನ (ಪ್ರತಿ 25 ಮಿಮೀ) | ≤5 μm |
| ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ದರ | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (ಸೂಕ್ತ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್ನೊಂದಿಗೆ) |
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
- · ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಚೇಂಬರ್ ಸ್ಥಿರ ಸೀಲುಗಳು (CVD, PVD, etch)
- · ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕುಲುಮೆಯ ಬಾಗಿಲು ಸೀಲುಗಳು
- · ನಿರ್ವಾತ ಫೀಡ್ಥ್ರೂ ಫ್ಲೇಂಜ್ಗಳು
- · ರಾಸಾಯನಿಕ ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಹಡಗು ಮುಚ್ಚುವಿಕೆಗಳು
ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ:
ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ → 1600°C ನಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವುದು → ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಫ್ಲಾಟ್, ನಯವಾದ ಸೀಲಿಂಗ್ ಮುಖಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ನಿಖರವಾದ ಡಬಲ್-ಸೈಡ್ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ → ಎಡ್ಜ್ ಚೇಂಫರಿಂಗ್ → ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್. ಪ್ರತಿ ಉಂಗುರವನ್ನು ಪ್ರಮಾಣಿತ ಲೋಹದ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್ನೊಂದಿಗೆ ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆಕಾರಕದಲ್ಲಿ 100% ಸೋರಿಕೆ-ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣ:
- · CMM ಆಯಾಮ ಪರಿಶೀಲನೆ (ID, OD, ದಪ್ಪ, ಸಮಾನಾಂತರತೆ)
- · Ra ಮತ್ತು ಅಲೆಗಳ ಪ್ರಮಾಣಕ್ಕಾಗಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರೊಫೈಲೋಮೀಟರ್
- · ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಫ್ಲಾಟ್ ಬಳಸಿ ಫ್ಲಾಟ್ನೆಸ್ ಮಾಪನ
- · ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆ (ಹಿಂಭಾಗದ ಒತ್ತಡ ವಿಧಾನ)
ಪಾಲಿಮರ್ ಒ-ರಿಂಗ್ಗಳಿಗಿಂತ ಅನುಕೂಲಗಳು:
- · FFKM ಗಾಗಿ 800°C ವಿರುದ್ಧ <300°C ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
- · ಶೂನ್ಯ ಅನಿಲ ವಿಸರ್ಜನೆ - ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರದ ಮಾಲಿನ್ಯವಿಲ್ಲ
- · ಎಲ್ಲಾ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರಗಳಿಗೆ (ಫ್ಲೋರಿನ್, ಕ್ಲೋರಿನ್, ಆಮ್ಲಜನಕ) ನಿರೋಧಕ
- · ಯಾವುದೇ ಸಂಕೋಚನ ಸೆಟ್ ಅಥವಾ ಶಾಶ್ವತ ವಿರೂಪತೆ ಇಲ್ಲ.
- · ಸ್ವಚ್ಛ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಅನಿಯಮಿತ ಸೇವಾ ಜೀವನ
ಮಿತಿಗಳು (ವಿಮರ್ಶಾತ್ಮಕ ಟೀಕೆಗಳು):
- · ಓ-ರಿಂಗ್ ಅಲ್ಲ— ಇದು ಗಟ್ಟಿಮುಟ್ಟಾದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಉಂಗುರವಾಗಿದ್ದು, ಅದನ್ನು ಮುಚ್ಚಲು ಮೃದುವಾದ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್ (ತಾಮ್ರ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಅಥವಾ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್) ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.
- · ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಚಲನೆ ಅಥವಾ ದೊಡ್ಡ ಫ್ಲೇಂಜ್ ತಪ್ಪು ಜೋಡಣೆಗೆ ಅವಕಾಶ ನೀಡುವುದಿಲ್ಲ.
- · ಪಾಲಿಮರ್ O-ರಿಂಗ್ಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆರಂಭಿಕ ವೆಚ್ಚ, ಆದರೆ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯು ಮಾಲೀಕತ್ವದ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
- · ಸುಲಭವಾಗಿ ಒಡೆಯುವ - ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸಿ; ಬಿಂದುವಿನ ಹೊಡೆತ ಅಥವಾ ಬಾಗುವ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಿ.
ಸೂಚನೆ:ಮೇಲಿನ ಡೇಟಾವು ಒದಗಿಸಲಾದ Al₂O₃ ಗುಣಲಕ್ಷಣ ಕೋಷ್ಟಕವನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಅನುಸರಿಸುತ್ತದೆ. ಎಲಾಸ್ಟೊಮೆರಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಯಾವುದೇ ಡೇಟಾವನ್ನು ಒದಗಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ. ಈ ಉತ್ಪನ್ನವು ಸ್ಥಿರ ಸೀಲ್ ರಿಂಗ್ ಆಗಿದೆ, ಎಲಾಸ್ಟೊಮೆರಿಕ್ O-ರಿಂಗ್ ಅಲ್ಲ. ಇದು ನಿಮ್ಮ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆಯೇ ಎಂದು ದಯವಿಟ್ಟು ಖಚಿತಪಡಿಸಿ.
