ಸ್ಟ್ಯಾಟಿಕ್-ಸೆನ್ಸಿಟಿವ್ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ ESD-ಸುರಕ್ಷಿತ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳು
St.Cera's ESD (ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್) ಸುರಕ್ಷಿತ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು 99.8% ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ Al₂O₃ ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು 10⁶–10⁹ Ω/sq ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ಸ್ವಾಮ್ಯದ ಡೋಪಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ ಸಾಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಭಾಗಗಳು ಸ್ಥಿರ ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಹೊರಹಾಕುತ್ತವೆ, ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತವೆ. ಮೂಲ ವಸ್ತುವು ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ (361 MPa), ಗಡಸುತನ (16 GPa) ಮತ್ತು ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು (15×10⁶ V/m) ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ESD-ಸುರಕ್ಷಿತ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳಲ್ಲಿ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ಗಳು, ಲಿಫ್ಟ್ ಪಿನ್ಗಳು, ಗೈಡ್ ರೈಲ್ಗಳು ಮತ್ತು FAB ಆಟೊಮೇಷನ್ಗಾಗಿ ಕಸ್ಟಮ್ ಫಿಕ್ಚರ್ಗಳು ಸೇರಿವೆ.
ವಿಶೇಷಣಗಳು(ESD ಚಿಕಿತ್ಸೆಯೊಂದಿಗೆ 99.8% Al₂O₃ ಆಧರಿಸಿದೆ):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ಮೂಲ ವಸ್ತು | 99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/ಚದರ |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.93 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 361 ಎಂಪಿಎ |
| ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | 16 ಜಿಪಿಎ |
| ಯಂಗ್ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 380 ಜಿಪಿಎ |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 800°C ತಾಪಮಾನ |
| ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಶಕ್ತಿ (ಬೃಹತ್) | 15×10⁶ ವಿ/ಮೀ |
ಗಮನಿಸಿ: ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾದ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣ ಕೋಷ್ಟಕಗಳಲ್ಲಿ ESD ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ. ಮೇಲಿನ ಶ್ರೇಣಿಯು ವಿಸರ್ಜಕ ಸೆರಾಮಿಕ್ಗಳಿಗೆ ಉದ್ಯಮದ ಮಾನದಂಡವಾಗಿದೆ. ಪರೀಕ್ಷಾ ವರದಿಗಳಿಗಾಗಿ ದಯವಿಟ್ಟು ನಮ್ಮನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ.
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
● ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆಗಾಗಿ ESD-ಸುರಕ್ಷಿತ ಅಂತ್ಯ ಪರಿಣಾಮಕಗಳು
● FAB ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರೌಂಡಿಂಗ್ ಪಿನ್ಗಳು ಮತ್ತು ESD ಫಿಕ್ಚರ್ಗಳು
● ಸ್ಥಿರ-ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಸಾಕೆಟ್ಗಳನ್ನು ಪರೀಕ್ಷಿಸಿ
● ಸ್ಥಿರ ನಿಯಂತ್ರಣವು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿರುವ ಕ್ಲೀನ್ರೂಮ್ ಪರಿಕರಗಳು
ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟ:
ಪ್ರಮಾಣಿತ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸಂಸ್ಕರಣೆ + ESD ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆ → ANSI/ESD STM11.11 ಪ್ರಕಾರ ಅಳೆಯಲಾದ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಭಾಗವನ್ನು 100% ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ರಿಂಗ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ನೊಂದಿಗೆ ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಅನುಕೂಲಗಳು:
● ESD-ಸಂಬಂಧಿತ ಇಳುವರಿ ನಷ್ಟವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ
● ಸೆರಾಮಿಕ್ನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
● ಸ್ಥಿರ ವಿಸರ್ಜನೆಯಿಂದ ಕಣಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಇಲ್ಲ.
