ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಾನೆಲ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಅಲ್ಯುಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್
ಸೇಂಟ್.ಸೆರಾದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ನಿಖರ-ಯಂತ್ರದ ನಿರ್ವಾತ ಚಾನಲ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಕ್ಷನ್ ಹೋಲ್ಗಳನ್ನು ನೇರವಾಗಿ 99.8% ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ದೇಹಕ್ಕೆ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ವಿನ್ಯಾಸವು ಬಾಹ್ಯ ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಯಾಡ್ಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ, ಏಕರೂಪದ ಹಿಡುವಳಿ ಬಲದೊಂದಿಗೆ ನೇರ ವೇಫರ್ ಪಿಕಪ್ ಅನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುವಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ (361 MPa) ಮತ್ತು ಗಡಸುತನ (16 GPa) ಪುನರಾವರ್ತಿತ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ರಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ಯಾಡ್ ಪ್ರದೇಶದಾದ್ಯಂತ ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು 10 μm ಒಳಗೆ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಒಡೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. OEM ರೋಬೋಟ್ ತೋಳುಗಳೊಂದಿಗೆ ಸುಲಭ ಏಕೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ನಿರ್ವಾತ ಪೋರ್ಟ್ಗಳು ಹಿಂಭಾಗದ ಆರೋಹಿಸುವಾಗ ಫ್ಲೇಂಜ್ನಲ್ಲಿವೆ.
ವಿಶೇಷಣಗಳು(99.8% Al₂O₃ ಆಧರಿಸಿದೆ):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ವಸ್ತು | 99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ದಂತ) |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.93 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 361 ಎಂಪಿಎ |
| ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | 16 ಜಿಪಿಎ |
| ಯಂಗ್ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 380 ಜಿಪಿಎ |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ಪ್ಯಾಡ್ ಚಪ್ಪಟೆತನ | ≤10 μm |
| ನಿರ್ವಾತ ಚಾನಲ್ ಅಗಲ | 0.5–2.0 ಮಿ.ಮೀ. |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 800°C ತಾಪಮಾನ |
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
● ತೆಳುವಾದ ಅಥವಾ ಬಾಗಿದ ವೇಫರ್ಗಳ ನಿರ್ವಾತ ಪಿಕಪ್
● ಅಂಚಿನ ಹಿಡಿತವಿಲ್ಲದೆ ನೇರ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ
● ಸೌರ ಕೋಶ ಮತ್ತು LED ತಲಾಧಾರ ವರ್ಗಾವಣೆ
ತಯಾರಿಕೆ:
ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಖಾಲಿ → ನಿರ್ವಾತ ಚಾನಲ್ಗಳು ಮತ್ತು ರಂಧ್ರಗಳ 5-ಅಕ್ಷದ CNC ಡ್ರಿಲ್ಲಿಂಗ್ → ಮೇಲ್ಮೈ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ → ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ → ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆ. ನಿರ್ವಾತ ಏಕರೂಪತೆಗಾಗಿ ಪ್ರತಿ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ಅನ್ನು 100% ಹರಿವು-ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಅನುಕೂಲಗಳು:
● ಬಾಹ್ಯ ನಿರ್ವಾತ ಪ್ಯಾಡ್ಗಳಿಲ್ಲ (ಕಣ ಮೂಲಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ)
● ಏಕರೂಪದ ಹಿಡಿತದ ಒತ್ತಡವು ವೇಫರ್ ಗುರುತು ಮಾಡುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ
● ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಮತ್ತು ಕ್ಲೀನ್ರೂಮ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ
