ಬರ್ನೌಲ್ಲಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ — ತೆಳುವಾದ ಮತ್ತು ದುರ್ಬಲವಾದ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ

ಸೇಂಟ್‌ಸೆರಾದ ಬರ್ನೌಲ್ಲಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ಭೌತಿಕ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದೆ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ವಾಯುಬಲವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಲಿಫ್ಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ 99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (Al₂O₃) ಅಥವಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಇದು, ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ನಡುವೆ ತೆಳುವಾದ ಗಾಳಿಯ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸಲು ಒತ್ತಡಕ್ಕೊಳಗಾದ ಅನಿಲವನ್ನು ಹೊರಹಾಕುವ ನಿಖರ-ಯಂತ್ರದ ನಳಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಈ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ತತ್ವವು ಹಿಂಭಾಗದ ಮಾಲಿನ್ಯ, ಅಂಚಿನ ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ತೆಳುವಾದ (≤100 μm), ದುರ್ಬಲವಾದ ಅಥವಾ ವಾರ್ಪ್ಡ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು (Al₂O₃ ಗೆ 361 MPa; SiC ಗೆ ​​550–600 MPa ವರೆಗೆ), ಕಡಿಮೆ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ರೋಬೋಟ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಸ್ಥಾನೀಕರಣವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಸಾಮಗ್ರಿಗಳ ಕುರಿತು ಟಿಪ್ಪಣಿ:ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (Al₂O₃) ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆಯಲ್ಲಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್‌ಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ಗಡಸುತನ, ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವದ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಬೇಡಿಕೆಯಿರುವ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಇನ್ನೂ ಉತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಯಟ್ರಿಯಾ-ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಿದ ಜಿರ್ಕೋನಿಯಾ (ZrO₂) ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮುರಿತದ ಗಡಸುತನವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆಯಾದರೂ, ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ವಿಭಿನ್ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಇದನ್ನು ಈ ಅನ್ವಯಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ; ಅಸಾಧಾರಣ ಮುರಿತದ ಗಡಸುತನ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳಿಗೆ ಇದನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಬಹುದು. ವಸ್ತು ಆಯ್ಕೆ ಮಾರ್ಗದರ್ಶನಕ್ಕಾಗಿ ದಯವಿಟ್ಟು ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ.

ವಿಶೇಷಣಗಳು(99.8% Al ಆಧರಿಸಿ�O₃):

ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ತತ್ವ:

ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ ಅಥವಾ ಸಾರಜನಕವನ್ನು (0.2–0.6 MPa) ಆಂತರಿಕ ಚಾನಲ್‌ಗಳ ಮೂಲಕ ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿಖರ ನಳಿಕೆಗಳ ಮೂಲಕ ನಿರ್ಗಮಿಸುತ್ತದೆ. ವೇಗವರ್ಧಿತ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಅಂತಿಮ ಪರಿಣಾಮಕದ ಮೇಲೆ ಕಡಿಮೆ-ಒತ್ತಡದ ವಲಯವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ (ಬರ್ನೌಲ್ಲಿ ಪರಿಣಾಮ), 50–200 μm ಅಂತರದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುವ ಎತ್ತುವ ಬಲವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ಯಾವುದೇ ನಿರ್ವಾತ ರಂಧ್ರಗಳು ಅಥವಾ ಪ್ಯಾಡ್‌ಗಳು ವೇಫರ್ ಹಿಂಭಾಗವನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವುದಿಲ್ಲ.

ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:

• · ಹಿಂಭಾಗದ ರುಬ್ಬುವಿಕೆಯ ನಂತರ ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ (≤50 μm) ನಿರ್ವಹಣೆ
• · ವಿರೂಪಗೊಂಡ ವೇಫರ್ ಸಾಗಣೆ (ಉದಾ. CVD ಅಥವಾ ಅನೀಲಿಂಗ್ ನಂತರ)
• · ಸೌರ ಕೋಶ ಮತ್ತು LED ನೀಲಮಣಿ ತಲಾಧಾರ ವರ್ಗಾವಣೆ
• · ಶೂನ್ಯ ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಯಾಂತ್ರೀಕರಣ
• · ಪ್ರದರ್ಶನ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಜಿನ ಫಲಕ ನಿರ್ವಹಣೆ

ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ:

ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಪುಡಿಯಿಂದ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಲಾದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರ → ಅನಿಲ ಚಾನಲ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ನಳಿಕೆಯ ರಂಧ್ರಗಳ 5-ಅಕ್ಷದ CNC ಯಂತ್ರ (ವ್ಯಾಸ 0.3–1.0 ಮಿಮೀ, ಸಹಿಷ್ಣುತೆ ±0.01 ಮಿಮೀ) → ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು Ra ≤0.4 μm ಗೆ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಮಾಡುವುದು → ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ → ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆ (ಅನಿಲ ಚಾನಲ್‌ಗಳು). ಯಾವುದೇ ಲೇಪನ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ - ಬೇರ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಮೇಲ್ಮೈ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕವಲ್ಲ.

ಗುಣಮಟ್ಟ ನಿಯಂತ್ರಣ:

• · ನಳಿಕೆಯ ಸ್ಥಾನಗಳು, ತೋಳಿನ ಉದ್ದ ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನದ 100% ಆಯಾಮದ ತಪಾಸಣೆ (CMM).
• · ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಏಕರೂಪತೆಯ ಪರೀಕ್ಷೆ: ಎಲ್ಲಾ ನಳಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತ ≤5%
• · ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆ: ಅನಿಲ ಚಾನಲ್‌ಗಳನ್ನು 0.6 MPa ನಲ್ಲಿ ಮುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ, 30 ಸೆಕೆಂಡುಗಳಲ್ಲಿ ಒತ್ತಡ ಕಡಿಮೆಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ.
• · 20× ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಬಿರುಕುಗಳು ಅಥವಾ ಬರ್ರ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ದೃಶ್ಯ ತಪಾಸಣೆ.

Aಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಸಂಪರ್ಕ ಅಂತ್ಯ ಪರಿಣಾಮಕಗಳಿಗಿಂತ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:

• · ಶೂನ್ಯ ವೇಫರ್ ಹಿಂಭಾಗದ ಮಾಲಿನ್ಯ - ಯಾವುದೇ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲ.
• · ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಅಂಚು ಚಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಒಡೆಯುವಿಕೆ ಇಲ್ಲ
• · ಸ್ಥಿರ ಅಂತರದೊಂದಿಗೆ ವಾರ್ಪ್ಡ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು (1 ಮಿಮೀ ಬಿಲ್ಲು ವರೆಗೆ) ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
• · ನಿರ್ವಾತ ಜನರೇಟರ್ ಮತ್ತು ಸರಂಧ್ರ ಚಕ್ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ
• · ಸೆರಾಮಿಕ್ ನಿರ್ಮಾಣವು ಸವೆತ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ದಾಳಿಯನ್ನು ನಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ.

ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ:

• · 200 mm, 300 mm, ಅಥವಾ ಕಸ್ಟಮ್ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳಿಗೆ ಲಭ್ಯವಿದೆ.
• · ಅನಿಲ ನಳಿಕೆಯ ಮಾದರಿಗಳು: ನೇರ, ಕೋನೀಯ ಅಥವಾ ಸುಳಿಯ ಪ್ರಕಾರಗಳು
• · ವಸ್ತುಗಳು: ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ಪ್ರಮಾಣಿತ) ಅಥವಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಅತ್ಯಧಿಕ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧಕ್ಕಾಗಿ)
• · OEM ಡ್ರಾಯಿಂಗ್ ಪ್ರಕಾರ ತೋಳಿನ ಉದ್ದ, ಆರೋಹಿಸುವ ಫ್ಲೇಂಜ್ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಸ್ ಪೋರ್ಟ್ ಸ್ಥಳ

ಮಿತಿಗಳು:

ಬರ್ನೌಲ್ಲಿ ತತ್ವ ಅನುಷ್ಠಾನ (ನಳಿಕೆಯ ವಿನ್ಯಾಸ, ಗಾಳಿಯ ಅಂತರ) ಒದಗಿಸಲಾದ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣ ಕೋಷ್ಟಕಗಳ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಮೀರಿದೆ. ಮೇಲಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು 99.8% Al₂O₃ ಗೆ ಒದಗಿಸಲಾದ ಡೇಟಾಶೀಟ್‌ಗಳನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಅನುಸರಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಒತ್ತಡಕ್ಕೊಳಗಾದ ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಸೆರಾಮಿಕ್‌ನ ಯಾವುದೇ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅವನತಿಯನ್ನು ನಿರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಅನಿಲ ಹರಿವಿಗೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುವ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ (ಉದಾ, ದುರ್ಬಲವಾದ ರಚನೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ MEMS), ಅನಿಲ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ನಳಿಕೆಯ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಅದಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬೇಕು.