ನಿಖರವಾದ ಡೈಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ಗಾಗಿ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್
ಸೇಂಟ್.ಸೆರಾದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚಕ್ ಅನ್ನು 99.8% ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ Al₂O₃ ನಿಂದ ನಿಖರ-ಯಂತ್ರದ ನಿರ್ವಾತ ಚಡಿಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಮ್ಮ ನಿಖರವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು 0.003mm ನ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು 0.002mm ನ ಸಮಾನಾಂತರತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ, ಡೈಸಿಂಗ್, ಹಿಂಭಾಗದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ತಪಾಸಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವಾರ್ಪ್-ಮುಕ್ತ ವೇಫರ್ ಸ್ಥಿರೀಕರಣವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ವಸ್ತುವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ (361 MPa), ಗಡಸುತನ (16 GPa), ಮತ್ತು 800°C ವರೆಗೆ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. 600mm ಹೊರಗಿನ ವ್ಯಾಸ (OD) ವರೆಗಿನ ಸುತ್ತಿನ ಸ್ವರೂಪಗಳಲ್ಲಿ ಮತ್ತು 1500mm ಉದ್ದದವರೆಗೆ ಆಯತಾಕಾರದ ಆಕಾರಗಳಲ್ಲಿ ಲಭ್ಯವಿದೆ. ನಿರ್ವಾತ ಚಡಿಗಳನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಸರಿಹೊಂದುವಂತೆ ಕಸ್ಟಮ್-ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ (ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ, ರೇಡಿಯಲ್ ಅಥವಾ ಗ್ರಿಡ್ ಮಾದರಿಗಳು). ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಚಕ್ ಅನ್ನು ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನೊಂದಿಗೆ ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನ ಪರಿಶೀಲನಾ ವರದಿಯೊಂದಿಗೆ ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವಿಶೇಷಣಗಳು (99.8% Al ಆಧರಿಸಿ)�O₃& St.Cera ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ವಸ್ತು | 99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ದಂತ) |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.93 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 361 ಎಂಪಿಎ |
| ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | 16 ಜಿಪಿಎ |
| ಹೊರಗಿನ ವ್ಯಾಸ (ಗರಿಷ್ಠ) | 600ಮಿ.ಮೀ |
| ದಪ್ಪ (ಗರಿಷ್ಠ) | 100ಮಿ.ಮೀ. |
| ಉದ್ದ (ಗರಿಷ್ಠ) | 1500ಮಿ.ಮೀ. |
| ಚಪ್ಪಟೆತನ | 0.003ಮಿ.ಮೀ |
| ಸಮಾನಾಂತರತೆ | 0.002ಮಿ.ಮೀ |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ರಾ0.1 |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 800°C ತಾಪಮಾನ |
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
- · ವೇಫರ್ ಡೈಸಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸ್ಕ್ರೈಬಿಂಗ್ (200mm/300mm ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡದು)
- · ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳ ಹಿಂಭಾಗದ ರುಬ್ಬುವಿಕೆ
- · ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ತಪಾಸಣೆ ಮತ್ತು ತನಿಖೆ
- · ದೊಡ್ಡ ತಲಾಧಾರ ನಿರ್ವಹಣೆ
ಉತ್ಪಾದನಾ ನಿಖರತೆ:
- · ನೇರತೆ: 0.005 ಮಿಮೀ
- · ಲಂಬತೆ: 0.005 ಮಿಮೀ
- · ದುಂಡಗಿನ ಗಾತ್ರ: 0.002 ಮಿಮೀ
- · ಏಕಾಗ್ರತೆ: 0.01ಮಿಮೀ








