ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ-ಆಧಾರಿತ ಪ್ರಮಾಣಿತ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ - ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ
ಈ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ-ಆಧಾರಿತ ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ ಅನ್ನು 99.8% Al₂O₃ ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಕಸ್ಟಮ್ ನಿರ್ವಾತ ಗ್ರೂವ್ ಮಾದರಿಗಳೊಂದಿಗೆ ನಯವಾದ ರಂಧ್ರಗಳಿಲ್ಲದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಇದು ಅಸಾಧಾರಣ ಬಿಗಿತ (ಯಂಗ್ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ 380 GPa) ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು (≤3 μm) ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ನಿಖರವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಡೈಸಿಂಗ್ಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ವಸ್ತುವಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (32 W/m·k) ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ವಿಶೇಷಣಗಳು(99.8% Al ಆಧರಿಸಿ�O₃):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ವಸ್ತು | 99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ದಂತ) |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.93 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 361 ಎಂಪಿಎ |
| ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | 16 ಜಿಪಿಎ |
| ಯಂಗ್ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 380 ಜಿಪಿಎ |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | 32 ವಾಟ್/ಮೀ·ಕೆ |
| ಚಪ್ಪಟೆತನ | ≤3 μm (200mm ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು) |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ (ಒರಟಾದ ಭಾಗ) | ರಾ ≤0.4 μm |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 800°C ತಾಪಮಾನ |
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
- · ವೇಫರ್ ಹಿಂಭಾಗದ ರುಬ್ಬುವಿಕೆ (ಒರಟಾದ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮ)
- · ಸುಲಭವಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ವಸ್ತುಗಳ ನಿಖರವಾದ ಡೈಸಿಂಗ್
- · ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್
- · ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೆನ್ಸ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್
ತಯಾರಿಕೆ:
ಎರಡೂ ಬದಿಗಳ ನಿಖರವಾದ ಲ್ಯಾಪಿಂಗ್ → ಡೈಮಂಡ್ ಗ್ರೂವಿಂಗ್ (ಐಚ್ಛಿಕ) → ಅಂಚಿನ ಸುತ್ತುವಿಕೆ → ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ → ಲೇಸರ್ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೀಟರ್ನೊಂದಿಗೆ 100% ಫ್ಲಾಟ್ನೆಸ್ ತಪಾಸಣೆ.
Aಅನುಕೂಲಗಳು:
- · ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಿನ ಬೆಂಬಲವು ಹೊರೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ವಿಚಲನವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ
- · ರಂಧ್ರಯುಕ್ತ ರಚನೆಯಿಂದ ಕಣ ಉತ್ಪಾದನೆಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ.
- · ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸುಲಭ (ದ್ರಾವಕ-ಒರೆಸುವಿಕೆಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ)
- · ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಬಹುದಾದ ನಿರ್ವಾತ ಚಡಿಗಳು (ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ, ರೇಡಿಯಲ್, ಕಸ್ಟಮ್ ಮಾದರಿಗಳು)
ಲಭ್ಯವಿರುವ ಗಾತ್ರಗಳು:
ಸುತ್ತು: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; ಕೋರಿಕೆಯ ಮೇರೆಗೆ ಚೌಕ/ಆಯತಾಕಾರದ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಗಾಗಿ ನಾವು ಲೋಹ ಆಧಾರಿತ ಆವೃತ್ತಿಗಳನ್ನು ಸಹ ನೀಡುತ್ತೇವೆ.
