ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗಾಗಿ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ PVD ನಿರೋಧನ ಉಂಗುರ
St.Cera's PVD ನಿರೋಧನ ಉಂಗುರವನ್ನು ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD) ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು 99.8% ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (Al₂O₃) ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉಂಗುರವು ಚೇಂಬರ್ ಘಟಕಗಳ ನಡುವೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಆರ್ಸಿಂಗ್ ಅನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರಮುಖ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಶಕ್ತಿ (15×10⁶ V/m), ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರತಿರೋಧ >10¹⁴ Ω·mm²/m, ಮತ್ತು 1600°C ವರೆಗಿನ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಸೇರಿವೆ. ನಮ್ಮ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು 600mm ವರೆಗೆ ಹೊರಗಿನ ವ್ಯಾಸವನ್ನು, 0.2mm ವರೆಗೆ ಒಳಗಿನ ವ್ಯಾಸವನ್ನು, 0.003mm ನ ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ Ra0.1 ಅನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ. ಉಂಗುರದ ಶೂನ್ಯ ಸರಂಧ್ರತೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವವು ಆಕ್ರಮಣಕಾರಿ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ವಿಶೇಷಣಗಳು (99.8% Al ಆಧರಿಸಿ)�O₃& St.Cera ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು):
| ಆಸ್ತಿ | ಮೌಲ್ಯ |
| ವಸ್ತು | 99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ದಂತ) |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | 3.93 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ |
| ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | 361 ಎಂಪಿಎ |
| ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನ | 16 ಜಿಪಿಎ |
| ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಶಕ್ತಿ | 15×10⁶ ವಿ/ಮೀ |
| ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರತಿರೋಧ | >10¹⁴ Ω·ಮಿಮೀ²/ಮೀ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಹೊರಗಿನ ವ್ಯಾಸ | 600ಮಿ.ಮೀ |
| ಕನಿಷ್ಠ ಒಳಗಿನ ವ್ಯಾಸ | 0.2ಮಿ.ಮೀ |
| ಗರಿಷ್ಠ ದಪ್ಪ | 100ಮಿ.ಮೀ. |
| ಚಪ್ಪಟೆತನ | 0.003ಮಿ.ಮೀ |
| ಸಮಾನಾಂತರತೆ | 0.002ಮಿ.ಮೀ |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ರಾ0.1 |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 1600°C ತಾಪಮಾನ |
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
- · ಪಿವಿಡಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಇನ್ಸುಲೇಟರ್ಗಳು
- · ಚೇಂಬರ್ ಫೀಡ್ಥ್ರೂ ಇನ್ಸುಲೇಟರ್ಗಳು
- · ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಶೀಲ್ಡ್ ರಿಂಗ್ ಇನ್ಸುಲೇಟರ್ಗಳು
- · ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆ
ಉತ್ಪಾದನಾ ನಿಖರತೆ:
ಏಕಾಗ್ರತೆ: 0.01mm, ದುಂಡಗಿನತನ: 0.002mm, ನೇರತೆ: 0.005mm, ಲಂಬವಾಗಿರುವಿಕೆ: 0.005mm, CMM ನಿಂದ ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗಿದೆ.
Aಪಾಲಿಮರ್ ಅವಾಹಕಗಳಿಗಿಂತ ಅನುಕೂಲಗಳು:
- · ಪಾಲಿಮರ್ಗಳ <300°C ಮಿತಿಗಿಂತ 1600°C ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
- · ಅನಿಲ ವಿಸರ್ಜನೆ ಇಲ್ಲ - ನಿರ್ವಾತ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
- · ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸವೆತ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ದಾಳಿಯನ್ನು ನಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ
ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ:
ಕಸ್ಟಮ್ ಅಡ್ಡ-ವಿಭಾಗಗಳು, ಆರೋಹಿಸುವ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು, ಹಂತದ ಪ್ರೊಫೈಲ್ಗಳು ಮತ್ತು ಬಹು ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ಉಂಗುರ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ.
